二手 THERMA-WAVE OP-3290DUV #293753713 待售

ID: 293753713
Film thickness measurement system Etch module.
THERMA-WAVE OP-3290DUV设备设计用于晶圆测试和计量。它是一个强大的工具,使制造商能够精确测量与半导体晶圆相关的各种特性。它提供了光学计量的最新技术进步,提供了晶圆厚度、表面地形和光学宽度等特征的精确测量。OP-3290DUV系统采用先进的光学显微镜,用户无需联系就可以检查晶片。显微镜配备了可以数字测量和记录晶圆的地形、宽度和其他特征的软件。测量精度可调至0.004/像素。此外,该单元还包括一个光学剖面仪,它可以检测晶圆上的表面特征,如丘陵和晶界。该机器设计用于半导体制造环境,其中THERMA-WAVE OP-3290DUV可用于检测、测量和分析缺陷。利用其先进的成像能力和软件,该工具可以检测到粒子、掺杂物的再分配以及其他不被注意到的不规则性。此外,该资产还具有2D扫描功能,允许用户在一次扫描中快速映射整个晶圆表面。该模型还提供了非接触式测量功能,允许用户在不与晶圆结构接触的情况下测量晶圆结构。内置的成像和计量软件为控制用户如何与晶圆交互提供了多种选择。这使得OP-3290DUV成为晶圆测试和计量的高效、经济高效的解决方桉。THERMA-WAVE OP-3290DUV设备除了具有成像和计量功能外,还具有自动对焦系统。此功能允许对晶片进行精确成像,而不管其在单元内的间距如何。成像和计量能力的结合使OP-3290DUV成为晶圆测试和计量的有力工具。
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