二手 THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 DUV #9168988 待售
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ID: 9168988
优质的: 1997
Thin film measurement system
Open cassette for 6/8 application
Upgraded from OP3260DUV
Non-Cu process
Vacuum handling
1997 vintage.
THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 3290 DUV是一种最先进的晶圆测试和计量工具。它用于计量学、表征、故障分析、线缘粗糙度测量和抄写线测试等多种应用。THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 3290DUV能够检测微米级的表面异常,如表面粗糙度、颗粒污染和步长不规则性。OPTIBE 3290 DUV利用深紫外线(DUV)干涉法和极化分析相结合,评估晶圆的表面特性。OPTIBE PROBE 3290DUV配备深紫外线激光系统,发射高相干、聚焦光束,光噪声水平低。此外,它的探测范围从<0.2 μ m到3 μ m,激光图像的放大范围大于40 μ m。DUV激光系统与偏振光分析的结合,使得THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 3290 DUV能够精确测量晶圆的表面温度。这使得THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290DUV精确温度映射和成像的理想工具。这对于确定被测基板的稳定性起着关键作用。OPTIBE 3290 DUV还附有集成软件包。该软件包含各种分析工具,以实现高效的数据采集和分析。它还包含强大的图形用户界面,以方便测量结果的可视化。OPTIBE 3290DUV符合人体工程学设计,外形紧凑。这使得它非常适合在有限访问的狭窄空间和环境中安装。其用户友好的设计使设置和维护更加方便。总体而言,THERMA-WAVE OPTIBE 3290 DUV是市场上最先进的晶圆测试和计量系统之一。它为各种应用程序提供可靠和准确的结果。它测量微米级表面异常的能力使得它特别适合精确和详细的分析。
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