二手 THERMA-WAVE OPTIPROBE 5220I #9171337 待售

THERMA-WAVE OPTIPROBE 5220I
ID: 9171337
Film thickness measurement system.
THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 5220I是一种晶圆测试和计量设备,结合了包括热成像、光学成像、反射法和表面电容等前沿技术,以精确、快速的测量晶圆特性。该系统提供晶圆平面度、均匀度、厚度、反射率、地形和电容的可靠测量,这些都是芯片制造过程中必不可少的因素。OPTIBE PROBE 5220I是一种高精度、多功能的设备,可以快速测量薄和厚晶圆。利用其多坐标电机控制单元,这台机器将精确测量薄晶片和厚晶片,精度达到1微米。此外,高分辨率光学显微镜工具还提供三维图像,用户可以准确地查看和分析地形和光学特性。该资产还采用了THERMA-WAVE专利热成像模型,该模型利用红外成像和技术在晶圆和芯片上捕获热数据点。该数据用于精确测量表面平坦度、变化和变薄等热特性。这种设备还可以对热感应特征或光学感应特征进行剖析,并检测微观缺陷。THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 5220I是一个完整的系统,提供峰值性能和精度。它包括用于快速校准的快速更改模块、精确的晶圆卡盘控制和自动调整厚度,以及具有多种报告格式的数据记录单元以记录关键测量值。OPTIPROBE 5220I具有先进的性能,是晶圆性能测试和分析的理想解决方桉。此外,机器的集成软件使其易于操作,从而使用户能够快速访问其流程所需的数据。该工具是在晶圆测试和计量中产生一致和优异结果的强大而可靠的工具。
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