二手 THERMA-WAVE OPTIPROBE 5240 #9111927 待售
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ID: 9111927
优质的: 1999
Film thickness measurement system
BPR, BPE, AE, SE, BB, SM
1999 vintage.
THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 5240是一种晶圆测试和计量设备,设计用于半导体器件的精确测量。它具有先进的光学成像平台,能够检测和精确测量接触/粘合垫,并为晶圆级评估提供高吞吐量。该系统提供亚微米分辨率和精度,允许无损检测和关键装置特性的精确分析。该单元利用先进的3D扫描技术,允许从晶片表面收集详细信息,从而能够精确测量关键尺寸,如粘合垫高度、直径和接触电阻。此外,该机还采用了抗反射涂层技术来减少晶片的过度暴露,从而获得准确和可重复的结果。OPTIBE 5240配备了高分辨率数字成像工具,能够测量关口厚度、闸门深度、接触尺寸、接触金属化、装置掩模对准等关键参数。该资产还能够识别晶片中的关键缺陷,如针迹、空隙和其他高长宽比缺陷。THERMA-WAVE OPTIBE PROBE 5240型号还配备了全面的计量软件包,可以让用户进行线扫描、全景和3D成像。该软件还包括颜色编码的图形用户界面,允许用户快速识别和分析测量结果。设备还配备了自动调谐能力,便于与生产线测试设置进行集成。此外,OPTIPROBE 5240还配备了高效电动机,可快速准确地进行扫描,并具有自动对焦功能,可确保最佳成像效果。该系统还包括各种用户可定义的设置,包括数据采集速度和图像校准选项。该设备具有生成准确和可重复测量的能力,并具有最小的停机时间和降低的机器成本。此外,它还具有直观的用户界面和诊断输出,使其成为大批量生产的理想选择。
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