二手 THERMA-WAVE Therma-Probe 420 #9161276 待售

THERMA-WAVE Therma-Probe 420
ID: 9161276
Ion implanter.
THERMA-WAVE Therma-Probe 420是一种最先进的晶圆测试和计量设备,能够检查和表征各种半导体材料。它提供了对晶圆温度以及介电、光学和电气测试结果的卓越控制。该系统采用基于热电池的温度探头,提供快速的热响应时间,确保晶圆表面温度测量的准确性和可重复性。Therma-Probe 420所使用的热电堆是市面上最大的,在接触传感器上提供每秒两打的快速准确读数。此数据用于生成晶圆和其他对象的温度剖面。THERMA-WAVE Therma-Probe 420还提供各种电气性能测试,使用电阻、电容、阻抗和电感等适当的射频参数测量和表征设备。利用其双通道直流平台,可以同时独立地进行低功率和高功率直流测试。该单元还可以进行模级热分析和晶体管级电路模拟,以更好地了解设备行为,以及封装交互。该机包含了广泛的光学测试能力,包括深度自动和手动缺陷检测、晶圆映射和粒子分析。此外,该工具还提供了准确可靠的工艺开发和鉴定所需的环境控制和可重复性。最后,对Therma-Probe 420进行了测试,以满足所有相关的EMI/EMC要求。THERMA-WAVE Therma-Probe 420能够为各种半导体材料的设备开发、表征和工艺优化提供可靠、可重复的结果。Therma-Probe 420通过其热塑性、光学和电气测试功能,具有满足任何晶圆测试、计量和工艺开发需求的性能和灵活性。
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