二手 THERMA-WAVE Therma-Probe 420 #9238862 待售

THERMA-WAVE Therma-Probe 420是一种晶圆测试和计量设备，使用光学3D映射提供晶圆高度、宽度和深度的全面测量，用于半导体生产中的质量控制。Therma-Probe 420提供精确的3D扫描数据,每个晶圆在不到3秒的时间内可获得高达2000万点的扫描数据。它以纳米尺度分辨率精确测量地形和其他特征，能够获取分辨率为0.5 µm x 0.5 µm的数据。单发地形扫描提供了快速、可靠的表面特性测量和缺陷检测。Automated Geometry测量可校准和补偿晶圆地形,从而确保数据在所有测量中都是一致和可靠的。测量平坦度和圆度等参数的轴是完全可编程的,允许在每个独特的生产环境中具有灵活性。THERMA-WAVE Therma-Probe 420的软件应用提供了完整、详细的3D地形图像分析。系统的直观软件和可视化使操作员能够快速检测缺陷并准确测量表面特性。它还提供了三个可选模块：高级缺陷检测、高级特征分析和高级晶圆边缘监视。变形分析允许对物理或化学处理前后的地形进行比较。同时,动态缝合过程在扫描过程中对地形进行实时缝合,为提供商提供了一种更准确、更高效的获得3D结果的方法。该单元的紧凑设计需要16.7英寸高度的最小地板空间。它具有双端口功能，兼容一系列晶圆材料，从8英寸到200毫米。它也适用于陶瓷和硅基板。总而言之，Therma-Probe 420是全面晶圆测试和计量的理想选择。它提供了准确的三维映射和变形分析，其动态缝合过程确保了结果的一致性和可靠性。要求最小的地板空间和与一系列基板兼容，机器提供无与伦比的性能。