二手 THERMA-WAVE TP 300 #93220 待售

THERMA-WAVE TP 300是一种高精度晶片测试和计量设备，旨在为评估各种晶片材料和工艺提供可靠和准确的数据。它配备了先进的软件和硬件，提供晶圆过程监控和表征的最高标准。它具有坚固的基于LED的近红外（NIR）光源,其设计目的是在所有子场中提供卓越的均匀性和光通量,从而能够精确测量各种晶圆参数,如厚度、平坦度和折射率。该系统配有单元素衍射光学元件（DOE），能够在近乎可见和红外区域提供极精确的角度测量。其独特的设计确保了高分辨率的数据，用于评估在宽波长范围内的各种过程。TP 300是一个完全自动化的单元，集成了样本移动，提供高吞吐量和卓越的数据精度。它还提供了实时多站点测量功能,可对多达24个样本站点进行实时比较测量。此外,集成的图形用户界面通过简化的控制功能、显示计量结果以及存储多达1000种配方的能力,促进了高效操作。THERMA-WAVE TP 300凭借其高速对准机、深度传感器和终端效应器,以及可编程刀具偏移、自动校准功能和带有实时更新的嵌入式车载软件等附加功能,提供了卓越的性能和可靠性。就其技术规格而言，该工具的最小波长为350nm，数值孔径为0.15，可一次测量多达25个测量点，X-Y级精度为10 μ m，可重复性为5 μ m。总体而言,TP 300是一种高度精确的晶圆测试和计量资产,它提供了先进的功能和灵活性,有助于确保产品质量和可靠的数据以进行有效的过程监控。此模型提供了强大的功能以实现最大的性能和精确的测量,使其成为晶圆制造商的理想选择。