二手 THERMA-WAVE TP 500 #146074 待售
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已售出
ID: 146074
晶圆大小: 1997
Dose monitoring metrology system, 6" to 8"
Specifications:
Upgraded to XP in 2006
Probe and pump lasers replaced: fiber laser
Usage: processed implant wafers
(2) Open cassettes
Handler: EQUIPE robot and controller
IG byte tape drive
SECS II: GEM SECS Ver 2.06
COGNEX 5000 pattern recognition system
Back plane: Eisa Bus
Laser type:
Diode 10mW class IIIB probe laser
Diode 70mW class IIIB pump laser
Ion dose measurements: high dose
Dose range:
Boron: N/A
Phosphorous: 3E14 to 2E16
Arsenic: 1E14 to 2E16
BF2: 2E14 to 2E16
Energy range: 0.5 keV to 200 keV (all species)
TW repeatability: 0.5% 1-sigma TW
Power requirements: 110-220V, 20A
Utilities requirements: CDA 1/4", (2) vacuum 1/4" (stage, robot)
Includes service / operational manual and reference block
1997 vintage.
THERMA-WAVE TP 500是一种晶圆测试和计量系统，旨在表征下一代基材材料。它利用先进的红外技术阐明了半导体、薄膜等材料的物理和电气特性。其专用的定制探针可以很容易地沉入晶圆基板的底部，以收集精确的热映射数据，而对设备的热预算影响最小。THERMA-WAVE TP500利用热容量、介电性能、热结电阻等热力学特性的测量，在新材料和工艺方法的快速发展中准确确定了试验晶片的易受伤害特性。它的红外照相机矩阵提供了高速捕捉图像的能力，每秒最多可分析1000点。能够同时记录多达80项不同的测试,从而可以极准确地收集数据和计量数据,同时减少时间和资源的消耗。温度差的高分辨率、热梯度有助于避免材料缺陷造成昂贵的晶圆损失。此外,TP-500的像素可寻址数字输入选项可确保结果的一致性和准确性,并尽量减少工作量。高级数据分析、同步和报告为用户提供了有关其设备和流程性能的详细信息。此外,TP500为用户提供了广泛的好处。它与各种基于PC的平台兼容,可以轻松集成到现有系统中。它快速的在线数据记录和获取时间将与数据日志记录相关的时间和成本降至最低。它的分析模式可以快速识别结果中的任何弱点或错误,并使用户能够快速修改其流程或材料以立即减轻这些缺陷或错误。总体而言，TP 500是一个强大的晶圆材料测试和计量系统。它可以轻松集成到现有系统中,并能够在短时间内捕获最复杂的细节。通过其精确的测量能力和详细的数据分析，是下一代基材快速发展中材料表征的有力工具。
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