二手 TOKYO KEIKI MAC-92CV #9226139 待售

TOKYO KEIKI MAC-92CV是半导体工业中使用的先进晶圆测试和计量设备。它设计用于测量晶片膜厚度、激光感应应力和其他电气特性，以及提供过程控制和晶片检查。系统本身由一个中心泵、高灵敏度压力传感器和一个多端口并联电容压力计组成。中心泵能运行变速，并能提供78.8 MPa的最大压力，以高达每分钟150个循环的速度旋转。单元中的高灵敏度压力换能器为低噪声，可精确测量0.0001MPa内的压力，而多端口并联电容压力计则用于测量晶片膜、晶片应力和其他电气特性。MAC-92CV配备了先进的控制机器，用户可以监视和控制工具的所有相关参数，如压力、速度和温度；而且还能够为全面的过程和产品控制进行广泛的测试。这些测试可用于测量薄膜组成、应力和降解水平以及晶片及其薄膜的附加特性。此外，该资产还可用于晶圆表面映射和晶圆检验，以监测产品质量和过程控制。TOKYO KEIKI MAC-92CV的设计具有较高的精度和可重复性，是晶圆测试和计量应用的理想选择。它极其可靠，易于使用，可用于实验室和生产环境，并提供出色的测量和结果。