二手 TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64 #9374922 待售

TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64是一种先进的晶圆测试和计量设备，旨在为半导体行业提供准确、可靠的数据和操作。该系统是晶圆测试、计量、缺陷定位和评审的综合解决方桉。Surfcom 590A-64提供卓越的自动机械扫描计量能力。它具有三个方向（X、Y、Z）的八个独立运动轴。这允许精确的晶圆对准,精度± 0.5 μ m。另外，ScanHead由四个测量传感器组成，包括X-Y级以正向识别晶圆位置。这样可以在长达8英寸的基板上实现高精度扫描。TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64具有多种晶圆测试功能，包括光学检查、电气测试和机械测试。光学检测功能通过使用高分辨率CCD摄像头快速准确地识别缺陷。其他特点还包括通过检测光强度变化来精确定位晶片上的异物颗粒和划痕的能力。最后，电气测试功能使用电子投影仪测量接触垫和轨迹的有效电阻分布等参数。Surfcom 590A-64还附带了一个高级缺陷审核单元，它允许用户快速轻松地查看和记录晶圆缺陷信息。该机器可存储多达500个缺陷图像和文本数据,并为改进缺陷管理提供图像历史记录的持续维护。此外,此工具还可以识别缺陷的潜在根源,并自动建议质量改进方法。总体而言，TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64是一种高度先进的晶圆测试和计量资产，提供卓越的自动机械扫描计量和各种晶圆测试功能。Surfcom 590A-64能够提供可靠、高精度的数据来支持半导体行业。其先进的缺陷审查模型还确保改进缺陷管理和质量改进。