二手 VEECO 9000 #9024202 待售

VEECO 9000是由VEECO Instruments Inc开发的功能强大的晶圆测试和计量设备。它旨在为各种晶圆应用程序提供最高的吞吐量、分辨率、可重复性和准确性。这个系统包括几个先进的仪器，如晶圆映射显微镜、剖面仪、椭圆仪和原子力显微镜（AFM）。这些工具能够对表面拓扑、化学、杂质和缺陷进行详细分析。该单元的晶圆映射显微镜是具有两个成像采集阶段的光学元件：串联和交叉。此工具可以收集多种不同类型的图像数据,包括曲面拓扑和3-D曲面轮廓。扫描仪能够连续扫描直径150毫米和厚度达4英寸。该阶段可用于内联或横线扫描,并具有自动样本对齐功能。Proifolometer是测量纳米级地形的有力工具。它能够以纳米精度测量亚微米线的宽度和深度。该机提供了多种操作模式，包括在高垂直分辨率的大表面积上快速扫描的能力。这种工具使用干涉光学技术来保证精确的测量。椭圆偏振仪测量关键晶圆工艺参数的数据，如厚度和地形。它具有针对不同波长的光源自动校准功能，可以测量小至5nm表面的光谱特性。它还可以测量折射率、消光系数、消光角和吸收系数。原子力显微镜（AFM）使用扫描探针的组合来测量样品的原子级表面拓扑和化学性质。该工具能够以纳米精度生成极高分辨率的纳米级表面特征图像。它具有二维扫描头，可以移动到高达0.5nm的x-y-z分辨率。AFM还配备了各种成像模式，包括力调制成像、扫描不对称成像、相位成像和敲击模式成像。除了这些先进的工具外，9000工具还包括一些用于数据分析和监督的额外软件工具。该资产包括允许轻松设置和访问数据的用户界面。模型还可以从这些数据集创建详细的报告和图像。VEECO 9000晶圆测试和计量设备对于要求纳米级表面分析的高性能和高精度的行业专业人员来说,提供了最高的吞吐量、重复性和准确性。通过组合几种强大的仪器，它为测量表面拓扑、化学、杂质和缺陷提供了无与伦比的精度水平。从高级成像到详细的数据收集，9000是各种晶圆应用的最佳解决方桉。