二手 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK 6M #293796360 待售
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ID: 293796360
优质的: 2005
Profilometer
Radius: 0.2 µm
Force: 3 mg
Measurement range: 655 kA
Length: 200 µm
SIEMENS Simatic rack PC 547B
Operating system: Windows XP
2005 vintage.
VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK 6M是一种精密的晶片测试和计量设备,设计用于半导体晶片的高精度测量和分析。这个先进的系统结合了半导体测试和计量领域三家领先公司的专业知识--VEECO Instruments Inc.、SLOAN Corporation和BRUKER Technology Corporation。VEECO DEKTAK 6M单元配备了最先进的技术和功能,能够精确表征晶圆表面,这对于确保半导体器件的质量和性能至关重要。该机采用接触和非接触测量技术相结合,准确评估晶片的地形、粗糙度和其他表面特性。SLOAN DEKTAK 6M工具的关键部件之一是手写笔剖面仪,它通过直接接触晶圆表面来实现高分辨率的表面剖面图。手写笔剖面仪使用细尖的手写笔扫描晶圆表面,并以亚纳米分辨率捕获详细的地形数据。这样可以精确测量步高、粗糙度、薄膜厚度等特征,精度和可重复性都非常好。除了接触剖析之外,BRUKER DEKTAK 6M资产还结合了非接触测量技术,如光学和激光扫描,以快速高效地表征晶圆表面。这些非接触方式提供高速数据采集,非常适合分析细腻或敏感的晶片而不会因直接接触而造成损坏。DEKTAK 6M模型提供了一系列的测量模式和分析能力,以满足半导体制造商和研究人员的多样化要求。用户可以进行各种类型的表面扫描,包括线扫描、面积扫描和3D扫描,以获得对晶圆地形和表面属性的全面了解。设备配备了用于数据分析、可视化和报告的高级软件工具,使用户能够从测量数据中提取有价值的见解,并就晶圆质量和过程优化做出知情决策。软件的用户友好界面使测量参数的直观操作和定制能够满足特定的应用需求。此外,VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK 6M系统设计用于半导体制造环境中的可靠性、准确性和易用性。它具有坚固的结构、隔振和温度控制机制,即使在具有挑战性的操作条件下也能确保稳定和一致的测量性能。最后,VEECO DEKTAK 6M晶片测试和计量单元代表了半导体晶片精确表面表征的尖端解决方桉。凭借先进的技术、通用的测量能力和用户友好的界面,这台机器是寻求实现高质量晶圆分析和过程控制的半导体行业专业人士的宝贵工具。
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