二手 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #293756643 待售

VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XT是一种使用基于手写笔的非接触法的晶圆测试和计量设备。它旨在表征加工前后的材料，并测量纳米级表面地形、表面粗糙度和厚度。VEECO DEKTAK XT利用原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM）技术，探测探针与表面之间的力，并提供样品表面的3D地形影像。标准系统提供用于样品定位的3轴级,标准最大行程为100 × 100 mm,最高速度为0.5 mm/s。垂直执行器可提供高达24.3mm的行进距离,并包括一个表面接触检测器,用于精确测量静止读数和层状样品的厚度。典型分辨率为Z（垂直）方向0.05微米。设备的扫描头包含一个线性编码器,使探测器在扫描时能够在整个样本中高效准确地移动。扫描头采用集成的光电容检测机和无反冲的双向级步进器，在整个X/Y传播距离上具有8微米的重复性。该工具包括一台计算机、显示器和设备控制器，以及用于控制扫描头和机械手运动、流和记录扫描数据以及用于数据分析的软件。提供可选的校准、自动校准、吞吐量增强和高级测量选项。SLOAN DEKTAK XT极其精确、稳定可靠，用于薄膜厚度和电阻率测量、磨损和腐蚀研究、双功能表面测量、表面粗糙度、晶圆平坦度和步高研究等多种应用，使其成为任何晶圆测试和计量实验室的重要组成部分。