二手 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #293812083 待售

VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XT是提供高精度3D纳米尺度表面形状测量的下一代晶圆测试和计量设备。该系统旨在提高微电子元件大批量制造商的吞吐量，降低生产成本。该单元使用定制的、基于接触的手写笔剖面仪进行精确、可重复和可靠的测量。手写笔轮廓能够每秒测量500个以上的不同点。测量结果直接取自晶圆表面，可实现高精度和重复性。该机器还提供其自动晶片对齐器（AWA），用于高精度、快速、精确地将晶片放置在正确的位置以进行扫描场测量。AWA设计用于进行实时校正,以确保在连续扫描过程中,手写笔始终接触晶片上各个单个模具上的同一表面点。除硬件组件外，该工具还包括各种软件应用，以方便晶圆测试和计量。例如,它的多层特征测量应用程序可实现高度精确和可重复的测量。资产的自动特征识别（AFR）模型与此应用程序配合使用,以快速准确地检测晶圆的关键特征。该设备还包括高速边缘检测和审查（EDR）应用。这一功能使操作员能够在几秒钟内快速查看晶片上的边缘条件以及高空间分辨率颗粒和污染物。系统还有一个综合特征识别/分类（FIC）单元，可以快速识别和分类各种特征类型。VEECO DEKTAK XT机器有助于显着减少各种应用程序的生产时间和成本。它利用先进的技术和工具快速准确地测量晶片上的纳米级特征。其自动对齐和特征识别技术为更快的晶圆测试和计量铺平了道路。因此，对于希望快速准确测量晶片纳米尺度特征的大批量微电子元件制造商来说，这是一个很好的解决方桉。