二手 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #9299921 待售

VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XT是一种晶圆测试和计量设备，对厚度、深度、轮廓和CD等晶圆参数提供高度精确的测量。它设计用于对薄晶片进行非接触、无损测量。系统无需接触探针或液体蚀刻即可测量晶片。VEECO DEKTAK XT使用X射线干涉测量，意味着它计算晶圆表面顶部和底部之间X射线传播时间的差异。SLOAN DEKTAK XT提供绝对轮廓和步高测量，使其成为各种应用的理想选择，包括半导体计量、表面纹理分析和平板显示计量。BRUKER DEKTAK XT具有一个大型800 mm x 600 mm XY扫描仪表,旨在提供最大的晶圆覆盖范围。它还配备了能够实现全10 nm分辨率的高精度Z级。XY扫描仪由三轴伺服控制单元控制，Z级由高速、高分辨率电机驱动。DEKTAK XT还具有真空卡盘，在图像采集过程中将晶片牢固地固定到位。VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XT具有Metumax TM配置文件软件,可快速准确地获取配置文件。Metumax TM软件可以测量尺寸小至0.25纳米的功能。配置文件软件还具有测量后分析工具,可用于比较测量之间的数据集,以及分析在专用应用程序软件中收集的数据。VEECO DEKTAK XT有一个内置的照相机，在测量时可以用来监视晶圆。相机能够获取分辨率高达1024 x 768的图像。摄像头还允许操作员存储配置文件图像以进行比较和后期处理。SLOAN DEKTAK XT是一种功能强大且高度精确的晶圆测试和计量工具。它非常适合各种应用程序,并提供多种功能和特性。对于任何需要精确测量薄晶圆参数的组织来说，BRUKER DEKTAK XT是一个极好的选择。