二手 VEECO / DEKTAK 8000 #9328743 待售

ID: 9328743
Profilometer.
VEECO/DEKTAK 8000是一种晶圆测试和计量设备,设计用于精确测量半导体器件和材料的电气特性。它提供集成的高精度测试和计量解决方桉,以优化工艺产量和制造效率。VEECO 8000使用先进的纳米级分析和成像技术,对有图桉的表面进行无损、即时的测量。它集成了精确的力反馈,以实现更好的分辨率、更高的精度读数和更快的吞吐量。该系统可提供更高质量的结果、更好的产品产量和更低的成本。集成的电动级允许样品定位精确到0.05微米以内。内置的可设置基板映射功能和自动对齐能力使DEKTAK 8000与其他系统脱颖而出。大舞台面积(400 x 400 mm)容纳各种晶圆尺寸,晶圆座组装选项为高吞吐量生产和自动化提供了多种途径。该单元内基于折射的光学元件可实现0.07 µm至>400 µm的成像。在不同高度和两个光轴上查看样品表面地形的能力促进了视觉的范围。这些测量可用于检测金属和介电层的表面完整性。8000还提供多种成像功能,包括延时研究和共聚焦显微镜。集成软件提供实时测量数据分析,允许简洁的统计过程控制,以增强过程监控和性能。总体而言,VEECO/DEKTAK 8000是一种集成晶圆测试和计量机器,对半导体器件和材料的电气特性提供高精度测量。它具有自动对准和电动级、0.07 µm至>400 µm的光学分辨率以及用于确定表面完整性的高级成像功能。综合软件还提供数据实时分析,以加强流程监测和性能。
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