二手 VEECO / DEKTAK V 300Si #293585852 待售

VEECO/DEKTAK V 300Si是一种晶圆测试和计量设备,旨在提供精确、可重复的测量和先进的工艺控制,外形紧凑。该系统适用于广泛的实验室和生产测试环境，从小型研究设施到大型工业场所。该单元采用完全集成的非接触式三轴计量机，结合轻型、刚性、闭环XYZ级，用于测量直径300毫米以上的样品。非接触式计量学工具采用先进的激光三角测量技术，它允许在大型Δ上进行高精度、低噪声和线性可重复性测量。该资产还具有独特的双轴级,用于对样品曲面进行高精度的倾斜和旋转测量。对于晶片测试，VEECO V-300SI采用机械晶片探针模型，允许无损检测和测量直径不超过12英寸的晶片。该设备具有提供高对比度图像的背光校准系统，能够精确测量表面粗糙度、表面高度以及反射率、反向散射、均匀性等光学参数。对于高级过程控制和分析,DEKTAK V-300 SI使用高级算法来识别样本曲面特征和映射关键参数,如线宽和空宽、临界尺寸和非均匀性。这个单元还包括一个独特的漂移校正算法，它可以补偿晶圆平坦度随时间的任何微小变化。在用户界面方面,VEECO/DEKTAK V-300 SI具有直观、易于使用的软件,具有图形决策服务和自动数据分析功能。它还带有多种编程语言和API,允许用户自定义其测试环境并最大化机器的功能。总体而言，DEKTAK V 300Si是一种先进的晶圆测试和计量工具，旨在提供精确、可重复的测量和先进的工艺控制，外形紧凑。该模型具有独特的非接触式计量资产和先进的分析算法，非常适合广泛的实验室和生产测试环境。