二手 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 330 #9379227 待售

VEECO Dimensions VX 330是一款先进的晶圆测试和计量设备，旨在满足半导体生产的严格需求。该系统利用强大的精密测量硬件、先进的显微镜光学和现代视频电子设备，实现了晶圆和样品的快速、精确测量。该单元具有精确的三轴运动平台,可在较大的工作区域内提供可重复的扫描精度,X-Y-Z分辨率可降至3纳米。高分辨率相机可以以高达6微米的分辨率捕获图像数据。自动边缘缩放和瞄准功能可实现高精度、高速的测量对齐。该机还具有高性能的石墨/陶瓷样品级，可容纳150和200毫米晶圆。利用专利的溷合压电执行器，该级具有非凡的线性和滞后特性，具有稳定、可重复的效果。自我诊断和主动调平使晶圆的变化快速而准确。VX 330附带了高级分析软件,解决了从晶圆平面度、临界尺寸（CD）测量和迭加结果到定量3 D轮廓成像等广泛的表面计量应用。工业级3D成像算法能够对复杂样本进行快速、准确的3D分析。结合全面的统计分析、自动化的报告功能和样本归档工具,该工具为现代生产测试设施提供了全面的晶圆测试和计量解决方桉。此外,该资产还具有体系结构和软件升级功能,提供了向新技术的迁移路径,并提高了测试吞吐量和可重复性。