二手 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 330 #9381674 待售

VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 330是一种原子力显微镜（AFM）和扫描隧道显微镜（STM）晶片测试和计量设备，非常适合表征半导体晶片和器件的3D表面地形。VX 330适用于各种应用，包括电阻率测量、CMP检测、抗蚀剂和地形成像，以及用扫描离子电导显微镜（SICM）进行缺陷分析。该系统通过其先进的光学器件和5轴电动采样级提供高通量脉冲广域成像以及晶圆和器件的3D地形图,可提供高达0.5nm的舞台分辨率和-5至5微米的垂直传播范围。为了提高基于表面粗糙度的精确度成像,VX 330提供了一种专利螺旋方法,结合了高速X-Y扫描功能,每小时可提供多达17,000张图像,采用单一扫描配方。VX 330的AFM模式支持硅扫描探针和扫描电容显微镜（SCM）探针等几种探针类型。多扫描模式具有两个不同的扫描方向，以更快地获取数据和改进精度更大的扫描。该单元的STM模式提供了可靠的隧道电流地形成像样品包括薄膜和薄层到大约3个原子层。该模式利用压电驱动的z反馈控制器，对扫描探头进行精确反馈和精确定位，以实现高分辨率成像。VX 330的探针控制特性通过保持最佳常数并适应探针行为、测量样品电容和样品温度的"成像一致性"功能得到进一步增强,以确保可靠和准确的成像。High Precision XY和Sub-Pixel激光剖面图还增强了3D特征的地形图,它提供高分辨率扫描成像,精度高达0.34纳米,扫描范围高达3.5mm ²。大型彩色显示器和带有直观图标的易于使用软件可帮助用户准确轻松地控制VX 330。该机器还允许自动收集和存储具有数据存储功能的独立于图像的数据。此外,工具中功能强大的报告编写功能有助于与同事或客户共享结果。VX 330是半导体表征和晶圆缺陷分析的理想的晶圆测试和计量资产。