二手 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS VX 200 #9063709 待售
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ID: 9063709
优质的: 2002
Atomic force profiler
Model #: DUVx200
Long scan profiles: Die length (up to 100mm)
Profile stage: up to 100mm
1μm X-Y axis repeatability
6μm vertical range
Superior step height repeatability: <5Å - 0.1μm and 1μm steps (1σ ); 20 traces at
20μm/sec scan speed
Unsurpassed lateral resolution: Low force, small tip radius (<10nm nominal)
True dishing and erosion analysis
OneScan Profiling: Zoom in on long scans without loss of resolution
High speed profiling: Up to 200μm/sec
Auto tip evaluation
Automatic exchange in ~4 minutes
24-tips per cassette
Dual cassette for different tip types
Throughput:
7wph (5 sites) for profiles
5wph (5 sites) for images
Profiler mode:
Data points/scan: 262,000
Imaging mode:
512 x 512 data points
Up to 65μm square area scans
Die scale imaging
3D visualization and analysis software
Optics:
Dual optics with 150μm and 600μm viewing area
Low magnification optics (3mm viewing area)
Capacity: 10 kA
220-25- VAC, 3.6 A
2002 vintage.
VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS VX 200是一款先进的晶圆测试和计量设备，旨在使制造商能够对当前和下一代半导体器件进行加速的生命周期测试和可靠性评估。该系统的高端自动化能力和具有光学功能的计量工具在过程控制和尺寸监控方面提供了卓越的准确性和可靠性。VEECO VX 200单元设计用于一次测试多达三个晶片，晶片尺寸直径在2到8英寸之间。此外，该机可处理200至500微米或1,500至2,500微米的晶圆厚度。该工具包括一系列功能，包括高级自动化测试控制器、支持高通量计算机辅助测试（CAT）系统和高级晶圆探针卡。这种功能的组合使得能够快速自动测试和测量过程参数,并提高了客观测试和设备功能表征的准确性和可重复性。DIGITAL INSTRUMENTS VX 200强大的光学子系统是资产的关键资产,能够测量和表征关键特性,如粒度、缺陷密度、晶片对准和基板厚度。这种测量和分析使设备设计人员能够优化性能和可靠性。该模型直观的用户界面提供了对高级设备控制选项的轻松访问，包括内置的计量功能、统计软件和流程可追踪性工具。此外,它还拥有一整套软件应用程序,使用户能够轻松访问数据、校准仪器和运行测试。VX 200系统的设计是为了承受苛刻的测试和计量应用的严谨。它强大可靠的设计使其能够集成到现代生产环境中。该装置与广泛的测试和计量系统兼容，其车载诊断和警报确保了机器停机率低。总体而言,VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS VX 200是一种先进的工具,使制造商能够进行快速、准确和可靠的晶圆测试和计量。它结合了自动化功能和强大的光学子系统,使设备设计人员能够监控和表征关键特性,从而提高性能并最大限度地提高设备产量。资产坚固可靠的设计确保它能够承受现代制造工艺的严格要求。
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