二手 VEECO Profilometer #293671953 待售

VEECO ProFiler是一个晶圆测试和计量系统，旨在测量高端半导体芯片的参数，如表面几何形状、晶体学取向、缺陷大小、掺杂和深度。ProFiler利用最新的自动化和数字成像技术,以最高的用户舒适度提供了广泛的计量功能。ProFiler支持对晶片进行无损评估,从最复杂的芯片到简单的MEMS结构。VEECO ProFiler使用可互换的扫描探测器,这些探测器非常精确且灵敏,足以检测电气、材料和物理特性方面的任何不规则性。ProFiler可以使用获得专利的多指针缩放功能扫描多达4英寸和6英寸的晶圆,该功能可以测量参数到纳米分辨率。此外,集成的X-Y计算机控制级还通过MicronStep提供了全自动性能,该功能降低了测量过程中非线性运动的复杂性。ProFiler在发射器中的CCD数字图像利用散射光来研究微观结构，而不是映射地形特征。它可用于检测纳米级3D结构等特征以及由于电不连续而产生光散射的区域。这有助于快速准确地区分相同边界下的相邻结构、缺陷和缺陷。这有助于为探测（蚀刻）和修改（纹理）提供精确的测量。VEECO ProFiler的用户友好界面具有直观的图形用户界面（GUI），允许用户快速设置测量。它还包括全面的数据分析功能，允许用户研究和评估通过晶圆测试收集的数据。综上所述，VEECO ProFiler是一个高度精确和敏感的晶圆测试和计量系统，可以用来测量高端半导体芯片的参数。它利用可互换扫描探针、X-Y计算机控制阶段、发射机中的CCD数字图像以及用户友好的GUI，为探测和修改提供精确的测量。此外,ProFiler还包括全面的数据分析功能,可帮助研究和评估通过晶圆测试收集的数据。