二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293643666 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 150是一种晶圆测试和计量设备，设计用于测量半导体晶圆上的表面特征。它被配置为在检查和计量当前和未来几代集成设备的最佳性能。该系统建立在XYZ定位阶段,具有更硬的行程、低摩擦轴承和更高的步进分辨率,可进行精确测量。VEECO DEKTAK 150利用先进的光学设计实现了最高分辨率,能够测量低至1.5nm的特征。较高的分辨率是通过使用较大光源的大量光并通过改进的光学器件进行收集而实现的。SLOAN DEKTAK 150的核心是其强大的集成软件包。开发了多种软件模块，以使该单元能够对大量测试结构进行检测，并具有强大的脚本编写能力，以实现自动化任务。软件甚至可以自动确定样本的边缘，从而无需繁琐的手动测量。DEKTAK 150还配备了一系列附件,包括扩展扫描范围的扩展器臂、探头、I/O控制器和多仪表,以最大限度地提高性能。VEECO/SLOAN DEKTAK 150机器还能够同时采样多达5个晶片，非常适合测试和分析生产运行中的大量晶片。它具有一个自动化的环境，通过在计量室内提供温度和湿度控制，可以实现全面准确和一致的结果。VEECO DEKTAK 150的性能使其成为用于缺陷检测和表征的无情工具,使工程师能够快速评估设备表面的均匀性以及是否存在划痕和腐蚀。它也是评估晶圆强度和可靠性的一个很好的工具，因为它的高分辨率能力允许在各种过程中进行最准确的测量。总体而言，这种晶圆测试和计量工具是评估半导体晶圆的可靠且经济高效的解决方桉。