二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293653436 待售
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VEECO/SLOAN DEKTAK 150是一种晶圆测试和计量设备,用于分析各种半导体晶圆。该系统能够测量晶片的各种特性,如表面粗糙度、掺杂浓度、电阻率等等。VEECO DEKTAK 150是分析半导体基板的集成解决方桉。它由一个机器人样品处理阶段、几个点度探测站和一个样品阶段组成。机器人单元包括一个六轴机器人臂和一个手动运输机,允许样品加载。探测站能够精确测量晶片的某些物理特性,如表面粗糙度、电阻率、掺杂浓度等指标。探测站包含高分辨率光学显微镜、干涉仪和X射线衍射工具。激光干涉仪提供了对表面粗糙度的高度精确的测量。X射线资产有助于获得晶圆中的掺杂物浓度。SLOAN DEKTAK 150也包含多个样本阶段。这些可用于方便样品移动或在测试过程中提供额外的样品稳定性。该模型自动化程度很高,可以同时运行多个晶圆测试。高级软件控制逻辑允许在执行测试时具有很高的准确性和可重复性。该设备还包含探头位置监控、安全屏障等多项安全功能,有助于确保用户安全。DEKTAK 150完全集成,易于使用。它可用于缺陷检测、故障分析、产量管理等多种应用。该系统提供可靠和可重复的结果,是半导体行业的一个宝贵工具。
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