二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293665803 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 150是一种晶圆测试和计量设备，用于测量半导体的地形和厚度，精度和精确度都很高。该系统具有一个独特的ID跟踪单元,允许用户定位先前分析过的晶片,以及一个集成的自动对焦机,用于将晶片与探测器精确对准,以及一个用于在测试期间定位晶片的三轴级。此外，VEECO DEKTAK 150能够测量直径最大为6英寸的晶片，并在距目标定位0.5 µm以内呈现晶片。SLOAN DEKTAK 150是一种无损测试工具，利用弹簧载荷定位器（SLP）支持的垂直手写笔，利用位置感测激光干涉仪（PSI）的反馈，允许测量晶圆拓扑。结合动态范围跟踪,DEKTAK 150能够在任何给定范围内利用手写笔行程的全部范围,在测量时保持与样本的对齐。SLP资产也被用于测量晶圆的厚度。这是通过使用Z伺服控制循环来完成的，该循环通过控制垂直手写笔的作用力来操作。通过设置所需的力,垂直手写笔将保持在与调整所施加的力相同的物理位置。随着力的降低，手写笔被允许接近晶圆较高的高度，从而允许测量晶圆的厚度。VEECO/SLOAN DEKTAK 150还能够在测量晶圆时提供异常粒子检测。在这种模式下，随着手写笔继续测量地形，3轴级在晶片上缓慢移动。将手写笔检测到的任何高度升高的物体登录到模型中，可以进一步分析。VEECO DEKTAK 150还设有一套程序，以进一步利用和简化其使用。其中包括特征分析程序，该程序提供了一整套用于定义、分析和比较晶圆拓扑变化的特征。定义后,将对特征进行迭代处理和分类,以便进行进一步的统计和图形分析。SLOAN DEKTAK 150是半导体器件制造商使用的宝贵工具,可帮助他们开发、优化和诊断其生产。它的高精度测量和多种多样的特性使它成为任何对晶圆测试和计量感兴趣的人的宝贵资产。