二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293808885 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 150是为半导体表征而设计的多功能晶圆测试和计量系统。它可以同时测量半导体晶片的高度、表面纹理和各种电性能。VEECO DEKTAK 150利用专有的扫描力显微镜设计来测量半导体晶片的物理特性。它使用低力、高分辨率悬臂探头测量具有微米尺度分辨率的均匀或非均匀地形特征的高度。它还可以表征分辨率小至5纳米的表面纹理。扫描力显微镜可用于测量晶圆的皱纹、凹坑、峰和其他物理表面特征。SLOAN DEKTAK 150还包括一套电气特性测量。它的四点探针炮塔允许测量片状电阻、接触电阻以及在广泛的晶圆类型上的表面电位。它包括一个电容扫描仪，用于测量电容电压和电容等效串联电阻。DEKTAK 150还包括一个电气参数表征系统，使用微服在静态或动态模式下测量设备参数。VEECO/SLOAN DEKTAK 150由功能丰富的软件包提供支持,该软件包允许用户快速高效地准确分析和记录结果。它直观的界面还允许用户以各种方式可视化他们的测量。该软件可帮助用户快速评估晶圆级工艺指标,如噪声、增益和故障。用户还可以自定义自己的分析脚本以简化工作流。VEECO DEKTAK 150是质量保证团队、研究机构和工程实验室的理想工具。它的可配置性和多功能功能能够准确评估和优化流程开发周期。它可以同时执行物理和电气特性测量,从而使用户能够快速开发和完善其工艺参数。该软件包使数据收集和分析变得简单、高效，有助于实验的高效执行。