二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293810864 待售

VEECO / SLOAN DEKTAK 150
ID: 293810864
Surface profiler.
VEECO/SLOAN DEKTAK 150是一种晶圆测试和计量设备,提供半导体晶圆表面的非接触和接触测量。它配备了先进的光学系统,结合了衍射和干涉测量技术来进行静态和动态表面表征。VEECO DEKTAK 150具有非接触面扫描仪,用于精确测量晶圆表面的曲率、轮廓和其他微观特征。它能够测量0.306微米(30 nm)或更大范围内的不同表面轮廓,还可以在三维数据点中记录测量结果。为了确保测量的准确性,SLOAN DEKTAK 150采用了伺服电动机驱动的z轴级和先进的光学显微镜,并配有一个集成的激光剖面图单元。此外,该单元由基于PC的软件驱动,该软件可自动进行数据收集、操作和分析。DEKTAK 150还配备了接触笔,用于测量晶圆或样品的电阻。通过其高精度的传感器,该机器能够达到0.1 nm的测量分辨率。工具上使用的手写笔由多种不同的探针组成,允许以最大的灵活性进行各种不同的测量。此外,VEECO/SLOAN DEKTAK 150配备了自主检查和分析资产,可帮助实现测量过程的自动化,并提供更好的结果和更高的可重复性。总体而言,VEECO DEKTAK 150是一种先进的晶圆测试和计量模型,在晶圆表征应用中使用时提供了出色的结果。它具有很高的可靠性和准确性,并以最小的用户交互执行精确的测量。凭借先进的光学设备和触控笔,它能够测量不同的表面轮廓、地形和电阻。因此,SLOAN DEKTAK 150是许多晶圆制造工艺的理想系统。
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