二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 1600 #139297 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 1600是一种晶圆计量和测试设备，非常适合精确和精确的表面计量测量。VEECO DEKTAK 1600结合了先进的成像、运动系统和软件算法，对半导体晶圆进行高分辨率的3D表面测量。它设计用于自动晶圆级粗糙度、平坦度和步高分析，以满足先进半导体应用的严格要求。SLOAN DEKTAK 1600具有精密光学系统与闭环运动技术相匹配的最高精度。这包括用于线扫描、扫描点测量和区域扫描功能的集成成像单元。它还具有自动卡盘处理机，在扫描多个晶圆站点时确保对准精度和可重复性。该工具采用3轴电动级设计,可进行高达20 μ m高的单步测量,最佳可重复性为0.1 nm。DEKTAK 1600能够测量标准、非标准和软材料等广泛的应用和材料。VEECO/SLOAN DEKTAK 1600设计有两种操作模式。扫描模式用于快速测量晶片表面,以检测晶片颠簸和步进。校准模式是为精确测量而设计的,因为它允许用户设置特定的激光功率水平、速度、磁场大小和焦点深度。用户可以输入许多测量参数,包括集成时间、数据级别、曝光时间、增益和偏移量,以实现高度精确的10-45 μ m分辨率测量。VEECO DEKTAK 1600具有高级软件算法,用于测量、分析和映射表面数据,以实现更快的过程控制。它包括一个基于Web的图形用户界面（GUI）和自动晶圆级报告,以便能够更快地进行流程分析和故障排除。资产的自动化数据采集和分析也消除了手动测量错误。SLOAN DEKTAK 1600因不需要气体、真空、液体或机床而设计用于清洁室级别的环境。该模型与大多数行业标准实验室和清洁室自动化系统兼容,并通过以太网连接直接连接到PC和数据存档。它需要最低限度的预防性维护,并具有紧凑的工厂集成设计。