二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3 #9105676 待售
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3是由VEECO Instruments和SLI, Inc.开发的精确晶圆测试和计量设备。它旨在快速准确地评估晶圆地形、地形剖面和电气特性。该系统利用基于触控笔的非接触扫描技术来测量晶片的表面结构和电性能。它能够在不到1秒的时间内产生多达60个测量值,从而能够更快、更准确地进行测量。它还具有自动样品准备和校准过程以及简化数据操作和分析的复杂软件包。该单元配备了先进的光学机器,用于检测晶圆厚度和电子迁移率的变化,以便精确测量。它能够测量薄膜厚度、低温屏障层和热扩散率。基于手写笔的扫描工具能够在短短几秒内扫描50点/英寸或8毫米2。VEECO DEKTAK 3的x-y分辨率范围从0.25微米到40微米,精确度为1%。资产可以测量薄膜的位移、厚度、高度和横截面数据,精度为1%。它可以很容易地检测到表面缺陷,分析表面地形,甚至检测到裂缝。此外,该型号还配备了XY级、张紧器、晶片闪光灯等多种外围设备,以帮助产生一致的结果。这些组件允许用户精确地设置样本条件以确保准确的结果。SLOAN DEKTAK 3是一种先进的晶圆测试设备,设计用于研发实验室的快速准确的测量。它便于用户使用,成本效益高,有助于实验室达到最高水平的准确性和效率。
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