二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3 #9176254 待售

ID: 9176254
Surface profiler.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3是一种晶圆测试和计量设备,用于半导体晶圆制造、光刻、包装等各种相关行业。它采用最新的技术进步设计,使用户能够获得极其精确和精确的读数,如表面粗糙度、步高和晶圆的应力。该系统由Dektak表和探测器两个主要组件组成。该表提供了放置晶圆样品或零件以进行扫描的基础。然后沿着晶片表面移动探针,以便对高度、宽度、深度和表面粗糙度进行精确的测量。VEECO DEKTAK 3具有触摸探头,利用电容技术对各种形状和尺寸进行可靠的接触测试。一组可调节的连杆可容纳不同的探针长度和柔性连接电缆,使探针具有更大的移动灵活性。还包括专门的位置伺服机构,为探头提供精确的线性和垂直运动。该单元的其他特点包括精度为0.5微米的集成位置编码器、可调电子光学器件以及用于编译和绘制测试结果的内置软件。SLOAN DEKTAK 3还提供了超出上述典型特征的独特分析选项。该机包括一种先进的弯曲膜测量选项,可以计算晶圆表面上弯曲膜的平面内位移和厚度。此外,还可以使用几何测量选项来映射晶片,以便与规范或测试样本进行比较。DEKTAK 3是一种快速、可靠、准确的半导体及相关行业晶圆测试和计量工具。VEECO/SLOAN DEKTAK 3结合了先进的技术、可调特性和专门的分析选项,是需要精确、精确晶圆测试的用户的理想选择。
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