二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3 #9189408 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3是一种晶圆测试和计量设备，用于测量薄膜厚度、侧壁角度、表面轮廓和扫描电子显微镜（SEM）。系统样本大小范围为2.5至6英寸（9.5厘米至15.2厘米）。VEECO DEKTAK 3采用金属框架设计，顶侧视口，集成低真空扫描电子显微镜（SEM）检测器，自动跟高头平台。SLOAN DEKTAK 3使用自动控制进行样本对准和测量,以及一个集成的远程胶片测量单元,它可以在一次扫描中测量多达100个胶片。它还具有独特的位置校正功能,可以根据样品倾斜和扫描大小进行调整,以确保精确的测量。用户还可以使用DEKTAK 3的成像机查看测量结果并修改扫描参数。VEECO/SLOAN DEKTAK 3使用独特的微定位器，由压电执行器驱动。这使得其测量具有极高的准确性；精度通常在1纳米左右。VEECO DEKTAK 3还使用了专利的边缘检测工具，可以用来测量侧壁角、粗糙的表面地形和薄膜厚度。此外，该资产还使用Barkhausen噪声分析技术来评估表面附近的磁场。对于表面分析，SLOAN DEKTAK 3有一个内置的探测器模型，设计用于检测扫描电子显微镜（SEM）中的隧道电流。设备还包括一个专用工作站，使用户能够实时控制所有设置和查看SEM的结果。对于高质量的胶片测量，DEKTAK 3还包括一个集成光学胶片厚度监视器（IFTM），这是设计用于分析胶片在反射和传输。IFTM使用光学系统来测量精确到1-2纳米的薄膜厚度。最后,VEECO/SLOAN DEKTAK 3配备了自动数据采集单元,可以捕获从机器所有组件记录的读出数据。此工具用于确保正确捕获和记录机器人获取的所有数据,以便稍后进行分析,以更好地了解资产的整体性能。VEECO DEKTAK 3是一个高度先进的晶圆测试和计量模型，提供具有独特软件功能的精确测量。对于需要精确测量以及自动数据采集和分析的行业来说,这是一个理想的选择。