二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3 #9192441 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3系统是晶圆测试和计量的通用平台。VEECO DEKTAK 3采用创新设计,具有坚固的触摸和感觉功能,采用一流的工程设计,为测量表面地形和粗糙度提供了持久可靠的工具。该系统具有集成工作站、内置显微镜和可编程或手动控制站等功能。它灵活的设计让它可以处理各种晶圆尺寸，直径从2到12英寸不等。为了提高精度，SLOAN DEKTAK 3配备了微定位级和集成编码器，使其能够提供精确的测量。这种先进的阶段技术允许亚微米分辨率。它还包括用于轮廓测量的数字图像相关器和显示薄膜厚度的模拟读数。DEKTAK 3的集成工作站具有强大的微处理器和软件包。这包括Vector Profile等软件工具,它允许获取动态范围为20 nm至50 μ m的30万个数据点。该软件还能够进行高级图形输出，以测量滑移变形和路径角非均匀性等高级参数。此外,VEECO/SLOAN DEKTAK 3还集成了用于表面轮廓测量和浅浮雕测量的分析软件,以及轮廓分析和基本绘图工具。为了提高可靠性，VEECO DEKTAK 3有内置的温度补偿、漂移校正和微旋转阶段。它还具有集成的光束偏转，有助于确保一致的探针覆盖范围和尺寸测量精度。该系统还具有开槽功能，可以快速、方便地识别模式。SLOAN DEKTAK 3是晶圆测试和计量的理想平台。其用户友好的技术和精确的测量能力使其非常适合任何需要高精度测量的研究或工业应用。