二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 ST #9383773 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 ST是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体材料的精确表征。该系统能够以纳米级精度对半导体晶片进行非接触三维测量。VEECO 3030ST单元利用无溶剂的金刚石尖尖触控笔探针，可以对广泛的表面拓扑和特征进行可靠的测量。SLOAN DEKTAK 3030ST采用XYZ扫描头设计,可用于晶圆曲面的3D映射和表征。扫描头配备了纳米操作尖端补偿算法，通过确保在整个测量表面范围内保持恒定的尖端表面接触，提高晶圆计量的精度。3030ST使用闭环扫描机,允许以高达10毫米/秒的速度进行快速、高精度的测量。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030ST具有许多内置功能,使其成为各种应用程序的可靠计量工具。其中包括用于亚纳米表面计量的激光干涉仪、用于检测和分析晶圆表面缺陷的背面照明资产，以及用于自动晶圆装卸的全机化级。其他功能包括用于测量接触力的压力调节器和应变仪组件、用于确保扫描过程中稳定性的空气承载台,以及可调节的合规头悬架以减少振动。VEECO DEKTAK 3030 ST型号符合多项行业协议和标准。这包括用于高精度薄膜测量的G46、E14和MM17,以及用于分析背面缺陷的FOB和BEETEK。该设备还符合Wyko晶圆映射软件，允许用户以各种图形格式分析映射数据。SLOAN 3030ST是一个高效、可靠的晶圆测试和计量系统,专为各种测量和分析协议而设计。这个单元配备了众多的功能，允许用户以纳米级的精度和精确度来分析晶圆表面。DEKTAK 3030 ST符合各种行业标准,使用户能够访问用于数据处理和分析的一整套软件工具。