二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #293600243 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030是一种先进的晶圆测试和计量设备，用于测量晶圆表面平面度、薄膜厚度和其他临界晶圆参数。作为技术先进的测试和计量系统，VEECO DEKTAK 3030为广泛的参数提供高精度的结果，包括薄膜厚度、表面反射率、光谱发射、表面粗糙度和地形。DEKTAK单元基于允许多种配置的模块化设计。它由一个x-y级、一个z轴运动模块、一个样本接口模块和一个z轴样本操作模块组成。X-y级为两轴高速精密级，分辨率高达12微英寸，精度为16至100纳米。这个阶段是由一个微米控制的驱动机器，提供平滑的性能和巨大的负载能力驱动。Z轴运动模组由铁流体密封滑轨构成，可以以10秒弧度为增量移动。此模块允许在三个维度上进行样品处理,从而提高了刀具的测量精度。样品接口模块可与各种样品持有者一起使用，便于样品精确加载到SLOAN DEKTAK 3030上。它包括一个真空资产，允许处理不同大小和形状的样品。最后，z轴样品操作模块能够在测试过程中精确控制样品的位置。此模块包括复杂的多轴线性执行器、力和扭矩传感器以及软启动功能。DEKTAK 3030的测试能力包括范围广泛的晶圆参数，如薄膜厚度、表面反射率、光谱发射、表面粗糙度和地形。该模型能够测量详细的图样粗糙度剖面和孔隙间距以及总平均长距离粗糙度值。这样可以验证晶片的平整度和表面质量。此外,VEECO/SLOAN DEKTAK 3030还可以测量5至500 nm的薄膜厚度,以及涂层均匀性和光学薄膜厚度等薄膜性能。总体而言，VEECO DEKTAK 3030是用于晶圆和其他样品测试和计量的通用且准确的设备。它的模块化设计、高精度阶段和样品处理能力相结合，使其成为验证晶圆平坦度和薄膜特性的强大工具。该系统为实验室提供了一个可靠且经济高效的晶圆测试和计量解决方桉。