二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #293815554 待售
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3030是一种晶圆测试和计量设备,旨在在各种高通量和时间关键环境中提供准确、可靠的结果。它利用精确、低强度的XYZ万向节型探针和获得专利的Autostop®垂直范围,以及垂直和横向扫描的组合来精确获取广泛的晶圆厚度和c方向数据。VEECO DEKTAK 3030系统可用于分析0.5至3.8微米平面度、粗糙度等特征的各种晶圆水平,并能检测各种半导体材料的斜坡和缺陷。SLOAN DEKTAK 3030配备了一个集成视觉单元,能够在短短两分钟内同时测量单个晶片上的两个不同站点,如果手动执行,操作将需要几分钟。扫描速度和可编程分辨率等功能使DEKTAK 3030机器能够根据应用程序和环境的特定需求进行定制。此外,该工具还利用Z-Control Asset™提高了速度、准确性和可重复性。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030型号的触摸屏界面用于控制操作,并提供结果的实时图形显示。设备跟踪任意数量的晶圆参数,显示扫描晶圆的缩放图像并创建三维模型。VEECO DEKTAK 3030系统还具有许多特定于应用程序的软件功能,包括能力分析、高级工艺分析和审查、多项式过滤和平整/厚度剖面提取。SLOAN DEKTAK 3030旨在与专有和开放行业计量系统接口。它可用于分析单晶片和较大晶片批次,是高速晶片测试、计量和生产线过程中工艺表征和流量测量的绝佳选择。对于先进的晶圆测量和分析,DEKTAK 3030单元是各种先进研究和生产应用的理想选择。
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