二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9012550 待售
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3030是用于半导体应用的先进晶圆测试和计量设备。该系统旨在提供对纳米级器件和电路特性的精确测量。该单元采用三轴级设计,工作面积最大可达150毫米x 150毫米。它设计用于平面和非平面晶圆测量,允许用户在三维空间中精确捕获数据。高精度扫描是可能的,x和y轴分辨率高达8 nm, z轴分辨率高达0.5 nm。VEECO DEKTAK 3030包括几个旨在提高吞吐量的功能,如快速高效的晶片装卸、高速扫描机以及具有命令排序和可调节扫描速度的数字控制工具。该资产与功能强大的专有软件集成在一起,使用户能够快速轻松地自定义测试参数和分析数据。使用SLOAN DEKTAK 3030可以执行广泛的应用程序,包括晶圆地形、步高测量、设备轮廓和光刻保真度。该模型能够测量平面晶片和弯曲晶片,包括长距离扫描、迭加测量和多次激光蚀刻等特征。DEKTAK 3030还包括高级安全功能,以确保比其他系统更快地正确运行。它采用数字信号处理器,符合ISO/IEC 61010安全标准。设备的所有部件均防尘,并可防止电气噪声,以确保最高的准确性和可靠的结果。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030是一种功能强大的晶圆测试和计量系统,适用于多种应用。它具有在大工作区上精确的三轴设计,能够高精度地执行测量。此外,它还包括命令排序和可调节扫描速度等功能,以及功能强大的专有软件,以简化用户的工作。最后,该机组配备了几个安全功能,以确保准确性和安全运行。
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