二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9096140 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030是一个晶圆测试和计量系统，设计用于测量半导体和其他材料的表面拓扑。它采用独特的手写笔技术来确保垂直和横向测量的准确性和可重复性。VEECO DEKTAK 3030有一级可以容纳直径达200毫米的晶片，提供了一个较大的样品面积。手写笔设计用于测量晶片表面层上的颠簸，垂直分辨率为0.30 μ m，横向分辨率为0.50 μ m。手写笔与压电元件耦合，这有助于精确测量整个样品。手写笔有一个弹簧加载的压力棒，这有助于消除测量过程中的环境振动。SLOAN DEKTAK 3030采用独特的接触传感器技术，在晶圆表面上保持一致的手写笔压力。触点传感器后面的先进电子设备还通过算法驱动的方法提供自动手写笔提升。该系统还包括一个屏蔽的外壳，以提供受控的气流和限制外部干扰，以及一个彩色液晶显示器，以便于操作。DEKTAK 3030对步长、临界尺寸、粗糙度和角/边锐度等表面特征的尺寸和形状进行了敏感而精确的测量。它可以在任何条件下对几乎任何晶片类型进行测量，使其成为各种计量应用的理想选择。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030通过机械精密和光学技术的结合，具有测量三维形状的能力等几个独特的特点。它提供符合国际计量标准（如ISO 9001）的高度准确的统计和可重复的测量。为了确保可靠的数据收集，它提供了广泛的统计算法来分析和计算数据点的轮廓。VEECO DEKTAK 3030还具有软件创新功能，如直观的图形用户界面，便于操作。它还具有一系列自动化功能,包括自动提笔,以提高安全性和数据完整性。支持一系列计算机接口，可以很容易地集成到现有的计量系统中。总体而言，SLOAN DEKTAK 3030是一个先进的、功能丰富的晶圆测试和计量系统，旨在测量半导体和其他材料的表面拓扑，具有卓越的精度和重复性。其先进的电子、集成的屏蔽和全面的软件使其成为广泛计量应用的通用选择。