二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9120561 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030晶圆测试和计量设备的设计目的是以最高效的吞吐量提供最高精度的测量结果。该系统自动化程度高，可靠，操作学习曲线短，适合任何半导体制造工艺。该单元是一个完全由计算机控制的表面轮廓监视器和厚度计单元，可以进行精确的3D表面分析和精确的跟踪分析。它有一个可编程的电动扫描头和一个可编程的控制器.它配备了高分辨率CCD相机，可以对晶圆表面进行直接光学测量，提供卓越的精度和精确度。VEECO DEKTAK 3030能够对直径不超过200毫米、厚度不超过2.5毫米的晶片进行轮廓测量。利用激光干涉法、电容成像和直流光散射相结合，精确测量了晶圆指定标称表面的表面轮廓、地形和轮廓偏差。它也可用于获取基本轮廓参数（如曲率、步高等）上的可重复性测量值。SLOAN DEKTAK 3030非常适合各种半导体制造工艺，包括氧化物、植入物或扩散工艺。它能够测量各种晶片上的表面轮廓，包括硅、砷化氙和其他合金材料。此外，DEKTAK 3030能够以纳米精度（1海里）测量3 D表面地形，并提供0.01海里的污染检测极限。除了VEECO/SLOAN DEKTAK 3030测量机的卓越精度和精确度外,该工具附带的软件还通过与过程控制图表和可搜索结果存档等统计分析功能集成,简化了数据报告过程。该软件还使您能够远程访问测量数据,从而可以轻松地与其他用户共享结果。VEECO DEKTAK 3030是大型生产作业和小型研发实验室的理想资产。它全面的功能、精细的准确性和方便用户的软件使其成为评估晶圆测试和计量需求的宝贵工具。