二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9169275 待售

ID: 9169275
Profilometer surface profile measuring systems.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3030是一种晶圆测试和计量设备,设计用于半导体工业中晶圆特性的精确测量。该系统包括一个用于测量和检查表面和地形特征的集成单元。所有的测量过程都以最高的精度和精确度进行。VEECO DEKTAK 3030采用激光干涉测量和手写笔技术的独特组合来测量名义上平坦的和非平平的晶片。它的通用设计可以覆盖半导体行业目前使用的普通晶圆尺寸。还可以使用自定义扫描选项来适应非典型晶圆几何。机器的单通道数据采集有三个测量轴,两个用于横向位移,一个用于垂直位移。这使得SLOAN DEKTAK 3030能够为晶圆高度测量、临界尺寸(CD)测量、表面粗糙度映射和3-D成像提供亚微米分辨率。DEKTAK 3030具有提高测量精度的先进软件。该软件具有高对比度图形显示功能,允许用户轻松查看、解释和分析大型数据集,从而有助于确保准确性和可重复性。它还包括用于高分辨率自动聚焦和地形测量的高级算法,以及各种图形格式的特征条件分析和数据显示。此外,VEECO/SLOAN DEKTAK 3030支持广泛的测量技术和协议,如平铺、自动聚焦、步进模式、单点、彩色映射、3-D成像、即时报告生成、后处理和自动测量序列配置。该工具还广泛选择了离线分析和报告生成选项。VEECO DEKTAK 3030是一种高度可靠和可靠的资产,可为用户提供准确、可重复的结果和无与伦比的吞吐量。SLOAN DEKTAK 3030具有多种特性和灵活的设计,可用于生产和研究实验室,以及先进工艺技术的评估。
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