二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9175618 待售
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ID: 9175618
晶圆大小: 6"
Stylus profiler, 6"
Step height measurement range:
Maximum: 100 kÅ
Minimum: 1310 Å
Radius: 12.50 Micron
Controller type: Microprocessor controller
Measuring range: 100Å to 1310kÅ
Scan speed range: Low, medium, high
Vertical resolution:
1Å In the 65kÅ range
10Å In the 655kÅ range
20Å In the 1310kÅ range
Data points per micron: 0.04 - 40
Scan length: 50 microns to 50 mm
Leveling: 2 Point programmable or cursor leveling
Stylus: 12.5 Micron, diamond
Maximum sample thickness: 1.75"
Sample stage diameter: 7"
Sample stage translation:
Manual:
X Axis: 6"
Y Axis: 3"
Zoom range: 35x-200x
Power requirements:
110 / 120 V
50 / 60 HZ
1 Phase
VEECO/SLOAN DEKTAK 3030是第四代晶圆测试和计量系统，设计用于半导体制造设施的质量控制。该装置配备了一个3D非接触触控笔探针，能够剖析晶圆表面特征的大小和形状，同时也测量这些特征的高度或深度。VEECO DEKTAK 3030配备了可容纳最大8英寸直径晶圆的级，以及提供双穿梭设计的快速基板交换。SLOAN DEKTAK 3030的非接触手写笔可以在晶片表面移动,精度为0.0003英寸,同时使用户能够自动识别任何不在预定公差范围内的设计特征。该单元具有直观的菜单驱动软件界面，易于操作和快速设置。软件还支持图形数据迭加，为用户提供对配置文件数据的增强可见性。此外,DEKTAK 3030可存储多达1,000个样本配置文件和多达99个测量配方,用于特定于晶圆类型的故障管理。该单元配备了许多附加功能，如隔振以减少样品表噪声，机械预先对准使用纸带孔或基准来定位晶圆，以及保证低摩擦运动的高效空气轴承。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030具有典型的速度和精确度,是专门用于晶圆测试和计量的可靠、经济且精确的解决方桉。
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