二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9245279 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030是由VEECO Corporation开发的自动化、精密晶圆测试和计量设备。VEECO DEKTAK 3030系列提供了对超薄膜、临界尺寸和多层结构的精确测量。SLOAN DEKTAK 3030系列的精确度为近埃分辨率,测量范围可达30毫米,是开发微机电系统和纳米技术的宝贵工具。DEKTAK 3030由控制器、驱动系统、晶圆探头和级组成。控制器是一个基于微处理器的单元，提供直观的图形用户界面（GUI），用于访问、控制和显示进程参数。驱动机器由一系列线性和旋转电动机组成，可提供精确的运动控制、稳定性和可重复性。晶圆探头利用电容和激光技术在接触或非接触模式下监测和测量样品的表面特性。舞台工具使用机械电动机、压电电动机和语音线圈电动机,提供可编程的样本扫描和遍历功能。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030系列的主要应用是测量晶片的表面粗糙度、应力和厚度，以及图样特征的临界尺寸（CD）和微电子元件的位置。该资产非常精确,粗糙度和CD测量的重复性小于0.2埃（A）,深度测量的重复性小于0.5 A。VEECO DEKTAK 3030系列提供多种自动化计量工具，以满足IC、MEMS和纳米级器件评估的复杂要求。它提供了各种扫描策略，以便于校准和定位测试模式。优化了模型体系结构,以促进可扩展性、准确性和灵活性。它支持实时数据监控和数据记录自动化操作。可升级的嵌入式软件使设备功能易于编程。该系统支持高分辨率成像、测量速度和精度、非接触模式、非接触式电容传感以及可选的集成AFM（原子力显微镜）和STM（扫描隧道显微镜）等功能。总体而言,SLOAN DEKTAK 3030系列是一个高级计量单元,可为各种应用程序提供高精度和灵活性。通过提供全面可靠的晶圆测试和计量，机器显着减少了产品开发时间和成本，确保了高度的精度和可重复性。