二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9247712 待售

ID: 9247712
Surface profiler.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3030是一款用途广泛、先进的晶圆测试和计量设备,旨在满足半导体行业的需求。它是晶片、MEMS器件和其他各种技术的研究和表征的理想选择。VEECO DEKTAK 3030通过多个表面成像、表面扫描和深度感测相结合,利用先进算法实现最佳精度,实现晶圆测试和计量。它为扫描探针显微镜(SPM)应用程序提供3D地形、3D表面扫描和蠕变力测量。该系统利用可变波长光学剖面仪实现晶圆的高分辨率图像,最大步长为2微米,深度分辨率为0.5纳米。峰谷精度为1纳米,横向分辨率为0.2微米。此外,SLOAN DEKTAK 3030最多可容纳四个晶片,用于测试和同时成像。DEKTAK 3030具有一个5轴级,能够扫描具有高达5毫米垂直间隙和0.15纳米水平分辨率的晶片。样本阶段还可以在单次测试运行过程中处理不同的样本大小。VEECO/SLOAN DEKTAK 3030还具有高级成像软件,该软件可高度定制以满足各种应用程序的特定要求。软件提供全面的图像处理功能,可以设置为根据用户定义的标准自动报告结果。这样可以在不同图像之间进行比较分析,并有助于查明缺陷和缺陷。该装置还具有专门的扫描力显微镜(SFM)探针,可测量各种力,包括接触力、悬臂力和蠕变力。这允许在纳米级表征材料特性。该机配备了悬臂力与位移曲线分析软件,可直接测量杨氏模量和硬度等材料性能。VEECO DEKTAK 3030工具是半导体行业的一个强大工具,可以提供对广泛材料和表面轮廓的详细调查。它提供先进的成像能力和材料特性分析,以协助晶圆、MEMS器件和其他技术的开发和表征。
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