二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9105734 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体晶圆的精密分析。该自动化系统在制造过程中对半导体晶片的关键尺寸进行精确的三维测量。通过使用获得专利的高分辨率可变电容换能器，VEECO DEKTAK 3ST可以测量低至1nm的尺寸，标准精度范围为2-10 nm。换能器也非常灵活，可以用在多种材料上，包括多种类型的金属、陶瓷和介电材料。该设备设计用于单面或双面测试,具体取决于客户的需求。它采用10英寸探头平面龙门设计,载荷角度± 90°,并具有手动和自动操作功能。用户界面融合了直观、易于理解的图形显示、格式、帮助屏幕和设备管理功能，使SLOAN DEKTAK 3 ST易于学习和使用。由X-Y级移动的样品支架，在定位标本时允许灵活性，进一步提升用户体验。为提高测量精度，VEECO DEKTAK 3 ST还具有低共振噪声、优异的隔振性能和温度稳定性。这也有助于减少来自不同环境条件的扭曲。此外,VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST还包括Stylus Patrameter机器,用于测量刀具的轨道对齐方式并补偿任何错误。"小特征分析"（Small Feature Analysis） SFA-10可以测量高长宽比、通孔和其他从0.1 μ m开始的特征,资产进一步提高了精度。最后,该模型还提供了SEM传输选项,使样品从SLOAN DEKTAK 3ST传输到扫描电子显微镜（SEM）。总体而言，DEKTAK 3ST是对各种材料的临界尺寸进行3维测量的理想选择，精度为2-10纳米。该设备具有多种功能,如Stylus Patrameter系统、Small Feature Analysis （SFA-10）和SEM传输选项,可让用户最大限度地控制测量和精度。DEKTAK 3 ST具有易于使用的直观菜单、用于定位的X-Y级和出色的隔振功能,是精密半导体工作人员的理想测试和计量单元。