二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9157734 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST是一种功能强大的晶圆测试和计量设备,它利用最新的技术和技术为各种材料和基材提供先进的计量能力。该系统在广泛的参数中具有卓越的性能,包括卓越的精度和可重复性,非常适合各种晶圆测试和计量应用。VEECO DEKTAK 3ST由垂直行程范围为3mm的XY精密定位级和非磁性步进电机驱动的压电驱动执行器以及单轴手写笔力传感器组成。定制设计的执行器提供精度为0.25 µm的精确高度测量，响应时间为0.45ms，最小步长为3 nm。此外,力传感器的灵敏度为0.1 mN,范围高达10 mN。SLOAN DEKTAK 3 ST还包括内置5倍亮场和暗场成像能力的集成光学显微镜。这允许用户精确检查晶圆特性和特性。显微镜的光学单元提供了出色的对比度和图像清晰度,其集成软件提供了对所有测量的直观控制,以及强大的数据存储和查看能力。SLOAN DEKTAK 3ST的非接触式计量能力使得能够直接测量各种晶圆材料的电阻率、阶梯高度和地形。机器在手动模式下运行，其中参数由用户定义，或者在自动模式下运行，在这种模式下，工具被编程为根据预定义的测试条件进行测量。自动化模式利用闭环控制，在各种环境或基板条件下保持测量重复。VEECO DEKTAK 3 ST还具有高级数据处理、动态模式识别、多媒体数据输出等多种其他尖端特性和功能。利用这些功能,VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST非常适合各种应用,从电气、微机械和光电器件的表征,到故障排除、缺陷检测和故障分析。综上所述，DEKTAK 3 ST是一项杰出的晶圆测试和计量资产，它为各种不同的材料和基材提供了高精度和可重复性。它具有先进的光学显微镜、强大的力传感器、集成的计量能力以及复杂的数据处理和多媒体输出。所有这些功能使DEKTAK 3ST成为各种应用程序的理想模型。