二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9192102 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST是一种先进的晶圆测试和计量设备,具有沉浸式技术特性,可提供晶圆分析的精确度和准确性。它具有广泛的高级测量功能,可用于高级晶圆测试和计量应用。从硬件开始,VEECO DEKTAK 3ST采用行业标准的VEECO高分辨率电容位移量规,以实现精度和精确度。它采用模块化平台设计,包括用于样品移动的高精度、高精度电动Z级。量规头和Z级连接到由强大的图形用户界面管理的量规控制器。SLOAN DEKTAK 3 ST还具有先进的测量功能,如自动特征识别和快速扫描速度,以实现准确的特征描述。它能够检测台阶高度低至10nm的地形，具有极好的线性和动态范围。系统获得专利的高级端点检测（Advanced Endpoint Detection, AED）技术可在每个扫描会话的端点准确定位样本形状。DEKTAK 3 ST还提供增强的Z轴校准精度，确保更一致和可靠的测试结果。该单元还根据应用程序的需要提供各种选项。它提供高分辨率的光学和扫描声学显微镜功能,非常适合先进的设备表征、3D表面测量和缺陷分析。它还具有低振动隔离功能,可提供高性能数据稳定性。在软件方面,VEECO DEKTAK 3 ST具有一整套软件实用程序,可提供分析、数据存储和报告功能。软件包括3 D成像、自动晶片映射缝合、自动模式识别以及利用机器强大硬件的缺陷分析程序。该工具能够分析晶圆步高、表面地形和均匀性、薄膜应力、灰尘粒度等特性。该软件还包括用于记录测试结果的数据存储和报告工具。总体而言，DEKTAK 3ST是一种先进的晶圆测试和计量资产，提供对晶圆的精确分析。它具有高分辨率的量具头、电动Z级和用于数据存储、分析和报告的综合软件套件。VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST是高性能应用程序的宝贵资产,需要可靠的数据和设备几何形状的精确表征。