二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9210179 待售
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST是半导体行业的全自动、精确、可靠的晶圆检验计量设备。VEECO DEKTAK 3ST提供了从基本检查到高级分析等多个阶段的精确度。这是一个直接驱动和低压晶片测试机器,具有强大的精度和可重复性。该机器用于检查晶片的表面和地形。它配备了一个简单的两轴光学系统,使用激光干涉仪测量高度、厚度和其他微妙晶片的特性。该单元提供了一系列的特征,如非接触表面剖面图、扫描电子显微镜(SEM)、粒子成像测速仪(PIV)和涡流检测(ECI)。SLOAN DEKTAK 3 ST也能直接成像到晶圆表面。SLOAN DEKTAK 3ST先进的轮廓测量和扫描能力使其成为表面分析的理想机器。机器使用集成视觉工具捕获晶圆表面的纳米级信息,并将其加工成数据点。然后,它将应用各种数学算法来映射晶片的特性,并生成具有惊人的实时3D成像RT3D模拟、完整报告和格式的3D模型,这些模型可轻松共享或导入CAD工具、过程控制系统和分析系统。VEECO DEKTAK 3 ST配有低压表面剖面图附件,非常适合进行高通量检查和分析。低压能力保证了精细晶片的测量精度和可重复性。这一重要的报价使得VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST成为纳米级表面计量和检验的理想选择。总之,DEKTAK 3 ST是针对精度、重复性和吞吐量进行优化的先进晶圆测试和计量资产。该机器能够以纳米级精度捕获表面和地形特征,其低压剖面特征为精细晶片提供了极高的精度。DEKTAK 3ST采用全套轮廓测量和数据收集工具,是高级曲面分析的理想模型。
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