二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9351652 待售
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ID: 9351652
Wafer surface profiler
Pentium III computer
PANASONIC Colored camera
LCD Monitor, 17"
DEKTAK Hot keys and mouse
HP Printer
Keyboard
Stylus: 2.5 µm
Power supply control box.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST是一个基准晶圆测试和计量系统。它是一种通用的高精度仪器，设计用于测量晶圆制造过程中的各种半导体参数。该3ST常用于晶圆的临界采样和统计分析。该仪器的特点是集成晶圆处理和自动盒式到盒式转运器，使晶圆测试、表征和计量过程能够快速而精确。3ST还配备了直观的图形界面，方便仪器导航，以及实时测试结果和数据可视化。该3ST采用专利的"垂直表面剖面仪"进行精密晶圆表面扫描。这款高速、高精度扫描仪的工作波长为10 μ m,扫描速度高达500 μ m/s。扫描头能够以高分辨率收集数千个数据点,从而使用户能够捕获范围广泛的任何晶圆表面的精细细节。3ST的专有计量软件提供了全面的结果分析，使用户能够快速准确地识别出不符合标准的晶片。其先进的过滤和绑定功能还为用户提供了调整噪声和干扰以分析真实结果的灵活性。该3ST能够执行多种类型的晶圆测量,如轮廓、粗糙度、表面高度、厚度、缺陷和污染、网络广播、孔大小、孔形状等。该系统还可以在温度控制、湿度控制和/或振动隔离的环境中操作，以确保准确的结果。总体而言，VEECO DEKTAK 3ST是一个先进的、易于使用的晶圆测试和计量系统，提供高度准确的结果，给用户生产高质量半导体所需要的信心。
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