二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9378636 待售

VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST
ID: 9378636
晶圆大小: 8"
优质的: 1999
Profilometer, 8" 1999 vintage.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST晶片测试和计量设备是一种高精度表面剖面仪,用于处理和测试各种半导体工艺的各种晶片样品。该系统采用创新设计,便于测试各种晶体结构,包括硅、多晶硅、外延材料、氮化物、氧化物和其他半导体材料。该设计包括一个先进的传感头,用于监测和响应在设备上移动的晶片的表面轮廓。VEECO DEKTAK 3ST是一种铰接式机械机器,包括一个铝制框架支撑龙门,用于容纳传感器、移动臂、电子设备和其他支撑元件。龙门架位于安装在不锈钢框架上的石英称重支架上。底架还支持电机执行器。该电动机负责通过滑轨在石英浴上移动铝制龙门。套件提供多轴控制器,使用户可以调整龙门的位置、传感头的灵敏度和传感器头的速度,以精确测量不同类型晶片的表面轮廓。仪器还附带了多种软件应用,允许用户分析自己的数据,校准仪器,存储轮廓数据。该设计还采用了功能强大的软件套件,用于自动数据采集和分析。该软件套件允许用户存储和比较晶圆配置文件,创建三维(3D)模型,分析数据,并将各种统计模型应用于他们的数据。该工具还包括一个单独的控制面板,允许用户快速调整各种资产设置,如扫描头的速度、峰值检测级别,甚至放大功能。SLOAN DEKTAK 3 ST使用的高级传感器头能够对各种晶圆表面进行极其精确的多点测量。传感器利用光学和干涉技术相结合,精确测量任何给定晶圆的表面轮廓。该模型能够捕获分辨率为1至6微米的单个数据板。DEKTAK 3 ST还提供了完整的晶圆映射功能,使用户能够检查晶圆内的每个站点是否均匀性和缺陷。DEKTAK 3ST设备是用于测量各种晶圆表面的通用且高度精确的表面剖面仪。该仪器具有高级传感头、自动数据采集和功能强大的软件套件等一系列功能,使用户能够测量、分析和存储其目标晶片的表面轮廓。使用这些工具,用户可以精确测量晶片的曲面轮廓,并创建晶片曲面的详细、高分辨率3D模型。
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