二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #293633019 待售
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已售出
ID: 293633019
Surface profiler
Stylus: 2.5 µm
Environmental enclosure
PC with accessories
Manual
Power supply.
VEECO/SLOAN DEKTAK 6M是一种晶圆测试和计量设备,设计用于以精确和速度测量半导体晶圆的表面特性。它在半导体工业中被广泛用于评估制造器件的质量。该系统由一个可以以三个自由度移动的五轴级组成。该级能够移动直径达6英寸的晶片,并在各种测量探头和单元的级之间运输它们。该机还具有先进的电机控制和定位系统,以实现一致和可重复的运动以及对晶圆运动的精确控制。VEECO DEKTAK 6M配备了先进的光学和扫描探针技术,用于快速准确的测试。该工具利用激光干涉仪对晶圆进行非接触表面高度测量,测量精度在几纳米以内。该资产还可以配备扫描探针,用于进行电气测量和短路测试并打开。该模型包括用于控制设备运行以及进行、记录和分析测量的强大软件。它允许各种可定制的测试配方和数据分析选项,包括趋势分析和警报。SLOAN DEKTAK 6M的设计采用了符合人体工程学的用户界面,用户可以快速直观地控制系统。该单元具有广泛的安全功能,以确保用户安全。总体而言,DEKTAK 6M是一种高度先进的晶圆测试和计量机器,旨在提供对半导体晶圆表面特性的快速准确的测量。该工具广泛应用于半导体行业,其强大直观的用户界面、先进的电机控制和定位系统以及强大的软件使其成为质量控制和过程监控的宝贵工具。
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