二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #293639493 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 6M是一种先进的晶片测试和计量设备，设计用于精确测量硅片上的特征，并提供对多种材料的检查、成像和分析。该系统基于精确的空气轴承平台，包括精密的精细激光干涉仪位置编码器以及自动视觉对准单元和多轴真空卡盘。VEECO DEKTAK 6M允许精确的X轴、Y轴和z轴位移,并且能够精确自动对焦和极其精确的步进和重复对准。它还为多个小二维特征提供高精度测量数据,包括表面高度、平坦度、步长、线宽和螺距测量。该机具有减少操作员占用空间、提高晶圆测量的吞吐量和准确性以及减少手动校准工作的能力。SLOAN DEKTAK 6M提供高速、超精确的非接触式计量。它专为高精度、重复性和快速吞吐量而设计,能够测量多种特性,如垫板、线宽、螺距和步高。该工具使用聚焦激光光源和检测器组件来测量晶片边缘和特征轮廓之间的距离。资产可以以各种比例检测单个特征，即使在最小尺寸为3x2.5微米的情况下也是精确晶圆测试的理想选择。DEKTAK 6M还拥有多种集成功能,如自动模式和特征识别、自动校准、自动车牌对准和对准、自动高度调整控制以及绝对和差分角度测量。该模型还具有先进的图像匹配算法，用于特征定位和参数分析能力的综合光学计量和检测。为确保准确和稳定运行,VEECO/SLOAN DEKTAK 6M配备了高级软件控制,包括高级菜单驱动软件,其中包含晶圆测量指令和自动测量的综合数据库。全面的数据库和自动化的指令确保设备以一致的准确性和可重复性执行。VEECO DEKTAK 6M还具有3-D检查功能，可以分析地形和缺陷大小、形状和粗糙度。总之，SLOAN DEKTAK 6M是一种先进的晶圆测试和计量系统，旨在提供精确、可重复和高精度的测量。其先进的菜单驱动软件、自动检查和注册功能以及自动晶圆测量指令,使其成为各种晶圆测试、成像和计量任务的理想选择。