二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #293646046 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 6M是一种晶圆测试和计量设备，用于半导体行业测量半导体基板上的薄膜层。该系统用于对金属、氧化物、硅和电介质等材料的薄膜层进行精确测量。该单元由电动级、导电晶片载波、激光基光投影机、电容基测量工具组成。电动级用于精确定位晶片进行测量。该级的速度是可调的，以适应不同类型的基板，这使得它非常适合在半导体行业的多个应用。利用晶片载波牢固地固定晶片进行测量，利用激光投影资产精确测量薄膜层。光投影模型由激光和位置敏感检测器（PSD）阵列组成,可精确测量距离、形状和边缘几何形状。设备还包括电容表，用于测量小至15纳米的薄膜层。电容表利用一对电极板检测被测样品上薄膜层宽度的差异导致的电容变化。此外,该系统还配备了一个集成的软件套件,能够对测量结果进行实时绘图、报告和数据分析。VEECO DEKTAK 6M的设计可以承受恶劣的条件并提供精确的测量结果，即使在高压高温环境中也是如此。此外,该设备可以在单个机器中处理多达12个工艺步骤,使其成为大容量半导体制造的理想解决方桉。此外，该工具可以测量晶片基板的镜片直径可达125mm。总体而言，SLOAN DEKTAK 6M是一种功能强大的晶圆测试和计量资产，能够快速准确地测量薄膜层，使其成为半导体制造的理想解决方桉。它的精确度、准确性和多功能性使其成为业界的宝贵工具,并使制造商能够提供市场上最高质量的产品。